Глава 6. Проволочный монтаж в производстве ППИ

Кристалл ППИ может выполнять свои функции только после присоединения к его активным областям металлических проводников – выводов, которые служат для подключения к корпусам, выводным рамкам, а затем – к внешним электрическим цепям.

Соединения в полупроводниковых приборах и ИС должны удовлетворять следующим требованиям: прочность соединения должна быть близка к прочности соединяемых элементов микросхем; соединение должно иметь минимальное омическое сопротивление; основные параметры процесса соединения (температура нагрева, удельное давление и длительность выдержки) должно быть минимально возможными, с тем чтобы не повреждались элементы схемы; выполнять соединение материалов разнообразных сочетаний и типоразмеров; после соединения не должно оставаться материалов, вызывающих коррозию; качество соединений должно контролироваться простыми и надежными методами.

Методы присоединения электродных выводов разделяют на проволочные и беспроволочные. Для проволочного монтажа применяется проволока различного диаметра (0,005-0,15 мм) из алюминия, золота и меди. Беспроволочный монтаж осуществляется подсоединением кристаллов с жесткими выводами и компонентов с объемными выводами, сборкой на рамке, ленте или гибком носителе.

Разработка новых типов ИС, особенно БИС и СБИС, ориентирована на использование автоматического сборочного оборудования с электронными сканирующими устройствами и системами оптико-телевизионного контроля. Уже используются в производстве автоматы производительностью до 10-15 тысяч соединений в час и выше.

Автоматизация процессов монтажа микросоединений, являясь одной из сложнейших инженерных задач, по-прежнему выдвигает повышенные требования к микропроволоке, покрытиям контактных площадок кристаллов и траверс корпусов и микросварочному инструменту.

Для изготовления высоконадежной радиоэлектронной аппаратуры специалисты ведущих стран мира проводят постоянный поиск конструктивных и технологических решений, направленных не только на повышение надежности выпускаемых изделий микроэлектроники, но также на снижение себестоимости, особенно в производстве приборов широкого применения.

В производстве ППИ и специальных микроприборов широко используется метод проволочного присоединения, при котором в качестве выводов служат гибкие металлические проводники из Al, Au, Cu и Pt. Проволочное присоединение обеспечивает высокую надежность микросоединений, легкость контроля и возможность автоматизации технологического процесса сборки.

Одним из направлений монтажа проволочных выводов является использование в качестве источника нагрева лазера, обладающего рядом преимуществ: возможностью получения надежных и стабильных по свойствам микросоединений, локальностью нагрева, дозированным регулированием подводимого тепла и др. Этим методом медные выводы ИС диаметром 0,07 мм можно припаивать к контактным площадкам печатных плат. Припой состава (%): 15Ag/2,5-3,5P/81,5-82,5Cu размещали на проволоке. Введение в состав припоя Р позволило проводить пайку без флюса. Для уменьшения отражательной способности меди соединяемые элементы покрывали химическим Ni толщиной 1,5 мкм.

Соединение гибких электрических проводов пайкой возможно способом, при котором на паяемые участки помещают припои и флюс. Сборка производится в приспособлениях, выполненных из материалов, способных пропускать луч лазера. Нагрев при пайке производят расфокусированным лучом, который после расплавления припоя и последующей его кристаллизации образует прочные паяные соединения.

Рассмотрено влияние давления, мощности, времени сварки и шероховатости поверхности на прочность микросоединений при УЗС. Теоретические расчеты и экспериментальные исследования показали, что прочность микросоединений, в основном, зависит от времени сварки.

Качество проволочных соединений во время процесса сварки контролируют следующим способом. Выводы носителя во время процесса сварки соединены с тестером. После проведения первой сварки замеряют сопротивление между местом сварки и шиной на носителе. После следующей сварки осуществляют контроль места сварки и каждого предыдущего проволочного мостика. Контроль проводится с переменной полярностью, чтобы определить нелинейность контакта. Данным методом можно проверять все присоединительные перемычки без конечного контроля всего прибора. Обнаруженные дефекты устраняются во время процесса сварки.

Для ТКС проволочных выводов ППИ с высокой степенью интеграции, где расстояние между выводами не превышает 0,2 мм, разработан способ, который предусматривает покрытие металлической проволоки диаметром 0,015-0,02 мм диэлектрической пленкой толщиной 1-10 мкм. Это предотвращает возникновение короткого замыкания в случае контакта двух выводов. В качестве материала пленки используется смола, которая устойчива при Т<200 °C, а в процессе ТКС пленка на концах проволоки разлагается, обеспечивая надежное соединение с контактной площадкой.

Для уменьшения шага расположения контактных площадок разработана установка сборки, снабженная керамическим капилляром – инструментом, рабочая часть которого имеет форму удлиненного овала с двумя параллельными гранями.

Уменьшение термомеханических напряжений в сварных соединениях, выполненных микропроволокой внахлест с контактными площадками выводной рамки, при термоциклировании от минус 65 до 150 °С достигается за счет формы контактных площадок, которые имеют наклон в 5-20 °. Скос контактных площадок осуществляется в процессе штамповки выводной рамки. Утверждается, что термомеханические напряжения по сравнению с плоской контактной площадкой выводной рамки уменьшаются после термоциклирования на 50 %.