Для чего требуется резервный объем активного газа в газовом лазере?

Необходим для обновления газовой смеси. 2СО­­₂→2СО+О₂

 

Почему термопарный преобразователь не используют для измерения высокого вакуума?

Так как коэффициент теплопроводности газа зависит от давления примерно в интервале от 10^-1 до 5·10^-3 Па, что соответствует рабочему диапозонутермопарных преобразователей.

 

Что является причиной возникновения фоновых токов в электронном преобразователе?

Электроны двигаясь от катода могут пройти через сетчатую сетку и затем тормозя у коллектора будут вызывать рентгеновское излучение. Это излучение может выбивать из коллектора электроны, т.е. коллектор поэтому может становиться положительным.

 

Чем вызвана зависимость чувствительности электронных и магнитных преобразователей от рода газа?

У обоих преобразователей происходит ионизация газа электронами. Количество ионов определяет ионный ток. Так вот различные газы обладают различным потенциалом ионизации. Этим и обусловлена эта зависимость.

 

Каков порядок включения и выключения вакуумной установки?

Закрываем высоковакуумный и форвакуумный клапан. Бойпасный открываем, включаем роторный насос. Откачиваем до давления 1 – 10 Па. Закрываем бойпасный клапан и открываем форвакуумный клапан. Создаем разряжение в системе (около 10 Па). Далее запускаем диффузионный насос и одновременно открываем высоковакуумный клапан. И производим откачку в камере до высокого вакуума.

 

Для чего применяется число Кнудсена?

Число Кнудсена используется для определения режима течения в трубопроводе. Kn ≤ 5*10^-3 – вязкостное; Kn ≥ 1,5 – молекулярное. Kn = λ/L_x. (λ – средняя длина свободного пробега молекул газа; L_x – характерный размер трубопровода)

Во время откачки вакуумной системы давление газа уменьшается и при этом меняются режимы течения газа в трубопроводах. Обычно полагают, что режим течения в трубопроводе вязкостный, если число Кнудсена (К_n) меньше или равно 5 10^-3 (К_n=λ/ L_x, где λ- средняя длина свободного пробега молекул газа, L_x- характерный размер трубопровода). Если К_n ≥1.5 то режим течения в трубопроводе является молекулярным. При молекулярно-вязкостном режиме 510^-3≤К_n ≤1.5. Проводимость трубопровода круглого сечения для вязкостного режима течения газа (К_n ≤5 10^-3) 

U_в = (πd⁴/128ηl) (Р₂+Р₁)/2, м³/c

где - η коэффициент динамической вязкости; d, l - диаметр и длина трубопровода, м; Р₂, Р₁ - давление на концах трубопровода, Па.

Для воздуха при Т = 293 К _η = 1, 82 10^-5 Па, следовательно

U_в = 1.36 10³ (d⁴/l) (Р₂+Р₁)/2, м³/c

Для молекулярного режима течения (К_n ≥1.5) в трубопроводе круглого сечения:

U_м =38.1 (d³/l) (Т/М)^1/2(4)

где М - молекулярная масса газа, кг / кмоль.

Для воздуха при Т = 293 К:

 

U_м = 121 (d³/l), м³/с                                           (5)

В области среднего вакуума в молекулярно-вязкостном режиме (510^-3≤Кn ≤1.5) проводимость трубопроводов можно рассчитать по полуэмпирической формуле Кнудсена:

U_мв = bU_м+ U_в

Для технических расчетов значение коэффициента b = 0, 9

 

Какие преимущества имеют электронно-лучевые пушки с поворотом луча по сравнению с аксиальными?

Что бы уменьшить катодное распыление целесообразней использовать схему с поворотом луча. В этом случае при повороте луча снижается катодное распыление. Преимуществом также является компактность, разделение зоны генераций и зоны обработки.

 

Что такое первеанс и кроссовер?

Действие пространственного заряда в пучках удобно характеризовать по коэффициентам пространственного заряда, учитывающего величины тока и ускоряющего напряжения. Этот коэффициент называют также первеансом.

P = I / U_a ^3/2

I – ток электродного луча;

U_a – анодное напряжение.

Различают никопервеансные (P<10^-8) и высокопервеансные (P>10^-8)

В высокопервеансных электронных пучках нужно учитывать их собственные электрические и магнитные поля которые создаются электронами.

Кроссовер – наименьшее изображение сечения катода после первой короткофокусной линзы которая является точкой фокуса первой линзы со стороны изображения (точка скольжения электронных траекторий).

Как отличить реальную течь от виртуальной?

Вначале изолируем систему от насоса. Момент закрытия вакуумного затвора считаем начальным. Измеряем давление в камере и строим график зависимости давления от времени. Если давление вначале возрастает, а затем, начиная с некоторого времени перестает изменяться, то течь виртуальная. Если давление возрастает пропорционально времени, то причиной является негерметичность (реальная течь).