Все работы с использованием травителей выполнять в резиновых перчатках в вытяжном шкафу при включенной вытяжной вентиляции.

 

1. Знакомство с видом поверхности пластин после резки, шлифовки, полировки.

1.1. Рассмотреть в светлом поле микроскопа МБИ-6 (или БИОЛАМ-М, МЕТАМ) пластины кремния после резки слитка, после шлифовки и после полировки.

1.2. Описать в отчете особенности внешнего вида каждой пластины.

 

2. Исследование воздействия травителя CP4A на пластины кремния.

2.1. Рассмотреть в светлом поле микроскопа шлифованную и полированную пластинки кремния. Отметить различие их внешнего вида.

2.2. Поместить обе пластинки во фторопластовый стакан, налить травитель CP4A в минимальном количестве так, чтобы пластинки были покрыты травителем, выдержать 2 мин. Затем, не извлекая пластинок, травитель аккуратно слить в слив, набрать проточной воды, слить ее, снова набрать и слить.

2.3. Осушить пластинки на бумажном фильтре и вновь рассмотреть их под микроскопом. Описать в отчете изменение внешнего вида пластинок.

 

3. Определение зависимости скорости травления от времени.

3.1. Измерить толщину второй шлифованной пластинки при помощи индикатора.

3.2. Поместить пластинку в стакан, залить в него травитель состава 15:2:5 так, чтобы травитель только покрывал пластинку, и выдержать в течение 2 мин.

3.3. Вынуть пластинку из травителя фторопластовым пинцетом, поместить в стакан с проточной водой и промыть несколько раз, набирая и сливая воду.

 

3.4. Осушить пластинку на бумажном фильтре, измерить ее толщину индикатором и определить скорость травления по формуле

 

 

где – толщина пластинки до травления; – толщина пластинки после травления; – время травления.

3.5. Поместить эту же пластинку в тот же травитель и выдержать
в нем 4 мин.

3.6. Повторить пп. 3.3 и 3.4.

3.7. Повторить пп. 3.3 – 3.5 еще два раза, после чего слить травитель в слив, промыть стаканчик в потоке воды.

3.8. Построить диаграмму зависимости скорости травления от времени.

 

4. Определение зависимости скорости травления от состава травителя.

4.1. Измерить индикатором толщину полированной пластинки.

4.2. Поместить пластинку в стакан, налить в него травитель состава 1:9 так, чтобы травитель только покрывал пластинку, и выдержать в течение 10 с. Затем слить травитель в слив и промыть пластинку 2–4 раза, набирая и сливая из стакана воду.

4.3. Осушить пластинку на бумажном фильтре, измерить ее толщину индикатором и определить скорость травления по формуле, приведенной в п. 3.4.

4.4. Повторить пп. 4.1 – 4.3, используя травитель 1:4 и другую пластинку (полированную).

4.5. Повторить пп. 4.1 – 4.3, используя травитель 1:1 и третью полированную пластинку.

4.6. Повторить пп. 4.1 – 4.3, используя травитель 4:1 и четвертую полированную пластинку.

4.6. Построить график зависимости скорости травления от содержания азотной кислоты в травителе.

 

5. Оценка влияния перемешивания травителя.

5.1. Измерить индикатором толщину полированной пластинки.

5.2. Поместить пластинку в стакан, налить в него травитель состава 15:2:5 так, чтобы травитель только покрывал пластинку, и выдержать в течение 3 мин, слить травитель в слив, пластинку в стаканчике промыть в протоке воды, несколько раз набирая и сливая воду.

 

5.3. Осушить пластинку на бумажном фильтре, измерить ее толщину индикатором и определить скорость травления по формуле, приведенной в п. 3.4.

5.4. Повторить пп. 5.1 – 5.3 с другой полированной пластинкой. При травлении стакан с пластиной и должен вращаться в приспособлении для вращения.

5.5. Объяснить в отчете наблюдаемые различия.

 

6. Оценка чистоты поверхности пластины по светящимся точкам.

6.1. Рассмотреть круглую полированную пластину в светлом и темном полях микроскопа МБИ-6.

6.2. Подсчитать количество светящихся точек в поле зрения микроскопа.

6.3. Поместить пластину в стакан, налить из колбы дистиллированной воды, промыть поверхность пластины кистью, высушить пластину в центрифуге (по инструкции).

6.4. Повторить пп. 6.1 и 6.2.

6.5. Записать в отчете результаты. Объяснить различия пп. 6.2
и 6.4.